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真空镀膜真空计测量参数详解 — 派旗纳米 S系列

上期介绍的真空泵是获得真空状态的工具,但是怎么知道真空度达到了什么水平呢?这个就要靠真空的测量工具——真空计。下面跟小编来认识一下真空计吧。 绝对真空计 直接测量真空度的量具,如U型计、压缩真空计(麦克劳真空计)。 相对真空计 直接测量与压强有关的物理量,再与绝对真空计相比较进行标定的真空计。 热偶真空计(

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真空镀膜技术专用词汇总 — 派旗纳米 S系列

1一般术语1.1真空镀膜vacuum coating:在处于真空下的基片上制取膜层的一种方法。1.2基片substrate:膜层承受体。1.3试验基片testing substrate:在镀膜开始、镀膜过程中或镀膜结束后用作测量和(或)试验的基片。1.4镀膜材料coating material:用来制取膜层的原材料。1.5蒸发材料evaporation material:在真空蒸发中用来蒸发的镀膜材料。1.6溅射材料sputtering material:有

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真空镀膜技术相关参数测量——膜厚的计算及测量 — 派旗纳米 S系列

《真空镀膜技术》专题已经来到了最后一期,感谢各位的支持!你们的支持是我们坚持的动力。上期我们说的是真空镀膜,这期我们就来说说,膜厚的计算及测量。膜厚的计算在真空中气体分子的平均自由程为:L = 0.65 / p (cm),其中p的单位是Pa。当p = 1.3×10-3 Pa时,L≈500 cm。L>>基片到蒸发源的距离,分子作直线运动。设蒸发源为点蒸发源,单位时间内通过任何方向一

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工厂分享:派瑞林气相沉积涂敷工艺技术 — 派旗纳米 S系列

1 派瑞林气相沉积涂敷层独特的防护特点某一电子产品处于一个有多种化学物质混合气体和水分子并存的高湿度的密闭体系环境中,线路和元器件管脚常常被腐蚀,致使该产品的可靠性极差。对该产品的印制板组件先后采用了美国道康宁公司生产的DC1-2577敷形涂料,国内大多电子产品采用的S01-3聚氨酯清漆进行防护性涂敷,仍无法解决线路、元器件的腐蚀问题。后来公司引进了派瑞林气相沉积涂敷工艺生产线,才解决了该电子产品的可靠性。通过长期对派瑞林气相沉积涂敷工艺的应用,我们总结出派瑞林气相沉

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PECVD 的电路板防水原理与故障原因分析 — 派旗纳米 S系列

摘要 薄膜制备工艺在超大规模集成电路技术中有着非常广泛的应用,按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。等离子增强型化学气相淀积(PECVD)是化学气相淀积的一种,其淀积温度低是它最突出的优点。PECVD淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性,正由于这些优点使其在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。本文简要介绍了PECVD工艺的种类、设备结构及其工艺原理,根据多年对设备维护的经验,介绍了等离子增强型

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