荣坚五金-一种磁场微波放电等离子体聚合外观涂层装配及方法 — 派旗纳米 S系列
摘要:本发明一种磁场微波放电等离子体聚合表面涂层装置及方法,属于等离子体技术领域。该装置中,在真空室的顶部或侧面安装圆柱形放电腔;放电腔外部安装电磁线圈或永久磁铁;放电腔远离真空室的一端安装有微波源,在真空室内放置待处理的基材;通入载体气体和单体蒸汽;微波源产生的微波在放电腔内与电磁线圈或永久磁铁的磁场共同作用发生放电,使单体发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层,微波源连续输出微波进行等离子体态聚合表面涂层,微波源断续输出微波进行等








