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工厂分享:派瑞林气相沉积涂敷工艺技术 — 派旗纳米 S系列

1 派瑞林气相沉积涂敷层独特的防护特点某一电子产品处于一个有多种化学物质混合气体和水分子并存的高湿度的密闭体系环境中,线路和元器件管脚常常被腐蚀,致使该产品的可靠性极差。对该产品的印制板组件先后采用了美国道康宁公司生产的DC1-2577敷形涂料,国内大多电子产品采用的S01-3聚氨酯清漆进行防护性涂敷,仍无法解决线路、元器件的腐蚀问题。后来公司引进了派瑞林气相沉积涂敷工艺生产线,才解决了该电子产品的可靠性。通过长期对派瑞林气相沉积涂敷工艺的应用,我们总结出派瑞林气相沉

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PECVD 的电路板防水原理与故障原因分析 — 派旗纳米 S系列

摘要 薄膜制备工艺在超大规模集成电路技术中有着非常广泛的应用,按照其成膜方法可分为两大类:物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。等离子增强型化学气相淀积(PECVD)是化学气相淀积的一种,其淀积温度低是它最突出的优点。PECVD淀积的薄膜具有优良的电学性能、良好的衬底附着性以及极佳的台阶覆盖性,正由于这些优点使其在超大规模集成电路、光电器件、MEMS等领域具有广泛的应用。本文简要介绍了PECVD工艺的种类、设备结构及其工艺原理,根据多年对设备维护的经验,介绍了等离子增强型

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