微波等离子体的原理是什么?有哪些行业应用? — 派旗纳米电子防护方案
一、概述 目前低温等离子体(温度为2000~50000K)已得到广泛应用,工业上已成为一种重要的工艺手段,例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂;制造各种新颖的光源和显示器;热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门,等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业,等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。以上情况表明,低温等离子体已逐渐渗透到很多领域,展示了广阔的前景。 二、用微波激发等离子体有如下优点 1.有较高的电离和分解程度







