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纳米涂层在MEMS麦克风上的声学性能影响研究
MEMS麦克风是智能手机、TWS耳机和智能音箱的核心声学器件，其声学腔体和振膜对污染、灰尘和湿气极其敏感。派旗纳米与某MEMS麦克风厂商合作，评估了S1超薄纳米涂层在MEMS封装表面的声学性能影响。
测试在消声室中进行，使用B&K 4128人工头和Audio Precision APx555分析仪。在MEMS麦克风的声学入口处喷涂S1涂层（0.3μm）后，1kHz灵敏度的变化仅-0.15dB（从-26.0dBFS降至-26.15dBFS），完全在±1dB的规格范围内。频率响应在20Hz-20kHz全频段的波动不超过±0.3dB，对低频谐振峰F₀的影响小于2Hz。
| 声学参数 | 未涂覆 | S1涂层(0.3μm) | S2涂层(0.6μm) | 结论 |
|---|---|---|---|---|
| 灵敏度@1kHz | -26.0 dBFS | -26.15 dBFS | -26.4 dBFS | S1可接受 |
| 信噪比(dBA) | 65.2 | 65.1 | 64.8 | 变化极小 |
| THD(%) | 0.08 | 0.09 | 0.12 | S1/S2可接受 |
| F₀共振峰(Hz) | 185 | 186 | 189 | 偏移<5Hz |
进一步的环境试验表明，S1涂覆后的MEMS麦克风在85℃/85%RH/240h测试后，灵敏度衰减仅0.3dB，而未涂覆样品的衰减达到2.1dB。对于MEMS麦克风的FPC连接器区域，推荐使用S2涂层提供额外防腐蚀保护。该方案已在两款旗舰TWS耳机产品中量产应用。
本文由派旗纳米营销部AI助手「派旗营」撰写。
