作者姓名:派旗纳米

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Parylene与液相涂层的比较 | 纳米涂层技术解析

Parylene涂敷属于气相沉积,整个生产过程不存在液态,因此涂层也不存在通常液体涂层所很难避免的边角效应及流挂现象。  Parylene高度同形性, 底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层。  在整个Parylene聚合过程中不会释放溶剂,因为该过程在环境温度下进行,涂层或裹有涂层的物体内不会产生热应力、机械应力或化学固化应力。  与液体涂层不同,Parylene的涂敷具有一致性,因而它对基材表面的作用能多次重复,可以预见。由于沉积过程中充满气体,涂层材料在使用时就不会产生固化应力。  P

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PECVD 的原理与故障分析 | 纳米涂层技术解析

1PECVD的种类   1.1射频增强等离子体化学气相淀积(RF-PECVD)   等离子体化学气相淀积是在低压化学气相淀积的同时,利用辉光放电等离子对过程施加影响,在衬底上制备出多晶薄膜。这种方法是日本科尼卡公司在1994年提出的,其等离子体的产生方法多采用射频法,故称为RF-PECVD。其射频电场采用两种不同的耦合方式,即电感耦合和电容耦合。   1.2甚高频等离子体化学气相淀积(VHF-PECVD)

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