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机器视觉在电子防护产线中的在线检测应用

派旗纳米 浏览次数:3 分类:行业资讯

paiqi

机器视觉在线检测电子防护涂层

AOI系统对S系列涂层进行100%全检:厚度均匀性(±0.05um)、表面缺陷(10um分辨率)、边缘覆盖率(99.5%准确率)。

检测项 精度 效率
膜厚均匀性 ±0.05um 0.5秒/板
表面缺陷 10um 1秒/板
边缘覆盖率 99.5% 实时

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