
机器视觉在线检测电子防护涂层
AOI系统对S系列涂层进行100%全检:厚度均匀性(±0.05um)、表面缺陷(10um分辨率)、边缘覆盖率(99.5%准确率)。
| 检测项 | 精度 | 效率 |
|---|---|---|
| 膜厚均匀性 | ±0.05um | 0.5秒/板 |
| 表面缺陷 | 10um | 1秒/板 |
| 边缘覆盖率 | 99.5% | 实时 |
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